在半導(dǎo)體制造過程中，氣體的潔凈度是保證芯片質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。任何微小的顆粒雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片缺陷，影響產(chǎn)品良率。深圳恒歌推出的 VCR 墊片過濾器，以其獨特的設(shè)計和卓越的性能，為半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)提供了高效的過濾解決方案，成為保護精密設(shè)備的重要屏障。

不銹鋼VCR 墊片過濾器采用全金屬材質(zhì)制造，整體為 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)。這種材質(zhì)具有出色的耐腐蝕性和耐高溫性，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體制造中各種腐蝕性氣體環(huán)境和高達(dá) 400℃的高溫工藝條件。全金屬結(jié)構(gòu)不僅確保了過濾器的強度和穩(wěn)定性，還避免了非金屬材料可能產(chǎn)生的微粒脫落問題，從源頭保證了過濾后的氣體潔凈度。

作為專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計的設(shè)備，VCR 墊片過濾器在接口兼容性方面表現(xiàn)優(yōu)異，兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。這使得它能夠輕松融入不同規(guī)格的氣體管路系統(tǒng)，無論是新建生產(chǎn)線還是對現(xiàn)有設(shè)備進行升級改造，都無需對管路進行大規(guī)模調(diào)整，大大降低了設(shè)備更換的成本和難度。

安裝方式上，不銹鋼VCR 墊片過濾器采用墊片式便捷安裝，作為表面密封的過濾器，無需進行復(fù)雜的管道切割或焊接作業(yè)。只需按照標(biāo)準(zhǔn)的 VCR 接口安裝流程進行操作，就能快速完成安裝，不僅縮短了安裝時間，減少了生產(chǎn)停機帶來的損失，還避免了因安裝過程不當(dāng)而引入的二次污染風(fēng)險。

VCR 墊片過濾器的過濾性能十分出色，過濾精度≥0.3μm，能夠有效攔截氣體中的微小顆粒雜質(zhì)，為 MFC 模塊、精密閥門、穩(wěn)壓設(shè)備等敏感組件提供可靠保護。這些精密設(shè)備一旦受到顆粒污染，可能會導(dǎo)致控制精度下降、設(shè)備磨損加劇，甚至引發(fā)氣體泄漏等嚴(yán)重安全隱患。VCR 墊片過濾器的高效過濾能力，能夠有效降低這些風(fēng)險，延長設(shè)備使用壽命，降低維護成本。

針對不同壓力需求的半導(dǎo)體系統(tǒng)，VCR 墊片過濾器提供了高壓型和低壓型兩種選擇。高壓型適用于高壓系統(tǒng)管路，1/2’’規(guī)格的最大正向壓差可達(dá) 2.9Mpa，1/4” 規(guī)格的最大正向壓差高達(dá) 10.4Mpa，流量范圍在 0~300slpm，能夠滿足高壓力、大流量的工藝場景;低壓型適用于低壓系統(tǒng)管路(VCR 過濾墊片)，最大使用壓力為 0.98Mpa，流量范圍在 0~100slpm，同時還提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多種過濾精度，可根據(jù)具體工藝要求靈活選擇。

此外，不銹鋼VCR 墊片過濾器還可以在現(xiàn)有配管上直接安裝，這為半導(dǎo)體企業(yè)的設(shè)備升級提供了極大便利。企業(yè)無需對現(xiàn)有的管路布局進行大規(guī)模改動，就能快速提升系統(tǒng)的過濾性能，以經(jīng)濟高效的方式實現(xiàn)氣體潔凈度的提升，滿足更高標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)要求。

在半導(dǎo)體制造過程中，泄漏風(fēng)險是必須嚴(yán)格把控的環(huán)節(jié)。VCR 墊片過濾器通過與 VCR 接口的緊密配合，形成可靠的密封，同時其高效的過濾性能減少了微粒對密封面的磨損，進一步降低了泄漏風(fēng)險，為半導(dǎo)體工廠的安全生產(chǎn)提供了有力保障。

深圳恒歌始終專注于為半導(dǎo)體行業(yè)提供高品質(zhì)的過濾設(shè)備，VCR 墊片過濾器的推出，充分體現(xiàn)了企業(yè)對半導(dǎo)體行業(yè)需求的深刻理解。它以全金屬結(jié)構(gòu)的可靠性、便捷的安裝方式、高效的過濾性能和廣泛的兼容性，為半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)提供了全方位的過濾保護，助力半導(dǎo)體企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

無論是在邏輯芯片、存儲芯片還是特種半導(dǎo)體的制造過程中，VCR 墊片過濾器都能發(fā)揮重要作用，為氣體系統(tǒng)輸送潔凈的氣體，守護著每一個生產(chǎn)環(huán)節(jié)的精密與穩(wěn)定。選擇恒歌 VCR 墊片過濾器，就是選擇了一種高效、可靠的過濾解決方案，為半導(dǎo)體制造的順利進行保駕護航。