KF16 真空卡環(huán)尺寸適配性強(qiáng)，安裝便捷，能快速與過濾器及真空設(shè)備對接，縮短系統(tǒng)組裝時間。搭配過濾器使用時，可實(shí)現(xiàn)清潔、低湍流的回填過程，提升產(chǎn)品產(chǎn)量與設(shè)備吞吐量，規(guī)范操作下產(chǎn)品完整性達(dá) 3.000.000 次循環(huán)。?

產(chǎn)品特點(diǎn)?

●?減少排氣湍流：配合過濾器特殊結(jié)構(gòu)，保障工藝腔體排氣穩(wěn)定;?

●?適配多類氣體：兼容半導(dǎo)體及工業(yè)常用氣體，無需頻繁更換;?

●?潔凈全流程：卡環(huán)與過濾器同屬潔凈室制造、測試、包裝，確保潔凈度;?

●?100% 完整性檢測：出廠前嚴(yán)格測試，保證連接與過濾可靠性。?

應(yīng)用上，廣泛適配小型半導(dǎo)體設(shè)備接口(如小型 CVD、Etch 設(shè)備)及小型真空室(裝載鎖、冷卻腔體)通風(fēng)，適合短時間傳遞中少量氣體流的場景，滿足中小型真空系統(tǒng)高精度需求。