高流量超純氣體擴(kuò)散器過濾器_半導(dǎo)體氣體過濾器_工藝潔凈過濾器
高流量超純氣體擴(kuò)散器過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計? ?穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流
結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003um。
獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、不僅確保高效過濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵?。
可定制化設(shè)計、靈活適應(yīng)各類安裝空間。
產(chǎn)品特點
不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)、可快速排氣
整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
減少工藝腔體排氣時的湍流
適用于多種工藝氣體
潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
100%完整性測試通過
100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
防止微?；烊?、幫助提高產(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計
技術(shù)參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
| 表面處理 | 內(nèi)表面:Ras32um | 過濾精度um | ≥003um? |
| 最大進(jìn)氣壓力 | 4bar | 最大工作壓差 | 5bar |
| 最高使用溫度 | 400°C | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01ym rated flow |
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